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慕藤光MF超清系列,解决晶圆贴片机Mark点识别困难,匹配高精度贴合需求!
发布时间:2025-02-05 16:23:26 访问数:11


作为半导体制造核心设备,晶圆贴片机的贴装精度和效率直接决定芯片生产质量与产能,进而深刻影响半导体产业发展进程。

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随着半导体制程不断向更小节点推进,晶圆贴片机的精度也有了显著提升。如,国外先进贴片机精度可做到±1μm,国产最新贴片机也能达到±3μm。

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如今,贴片机技术成熟,能满足不同尺寸、形状、类型芯片的贴装需求,不管是传统方形芯片、异形芯片,还是先进封装形式芯片都能应对,支持倒装芯片封装、扇出型晶圆级封装、2.5D/3D 封装等多种工艺,这些都离不开各步骤环节的精度提升。
贴装过程中,机器视觉、激光定位与高精度运动控制技术深度融合,能够实时监测并动态调整,确保芯片与晶圆实现精准连接。与此同时,它还能自动检测和识别晶圆及芯片的各类参数与缺陷,并依据预设规则自动调整处理,有效减少人工干预,提高生产效率的同时,保障了产品的一致性。

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不仅如此,设备的机械结构与控制系统持续升级,从晶圆上料、芯片拾取、贴装到下料,全流程实现高度自动化。通过各项优化设计,贴装头的运动速度和精准度幅提升,芯片取放时间显著缩短,以此极大的提高了贴装效率。




在晶圆制造中,贴装精度将直接影响着芯片的性能和质量。

晶圆贴片机需要将电子元件准确地贴装到晶圆的指定位置上。Mark点作为已知的固定位置参考点,能帮助贴片机的视觉系统快速确定晶圆在工作台上的精确坐标位置,从而建立起贴装的基准坐标系,避免元件贴装偏移、错位等问题,进而提高了芯片的良品率。

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对于一些对精度要求极高的芯片,如高端处理器、存储器等,Mark点的精准定位作用尤为关键。在晶圆贴片机中,定位原理主要基于机器视觉技术与精密运动控制技术,它们相辅相成,共同保障贴装的准确性,重要性不言而喻。
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精准化检测能力

慕藤光作为智能成像光学系统引领者,针对Mark点识别等技术难题,给出了专业的视觉检测解决方案。

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慕藤光MF超清系列产品,能够识别检测到最小的Mark点边缘尺寸,单像素精度可达0.34μm。目前,已广泛应用于大量贴合机检测实例。在实际应用中,该系列产品配备超高精度镜头,最大可兼容22像面,能呈现清晰、细腻的图像,有效解决Mark点检测困难等难题。
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清晰化成像设计

除了上述的性能特征,慕藤光MF超清系列产品还可精准识别各类缺陷。它不仅精度超高,还大幅提升视野清晰度,凭借优秀的光学设计,实现整个视野内无场曲、无单色差,无论观察视野中心还是边缘区域,成像都清晰准确,不会出现变形、模糊或色彩偏差等问题,在晶圆贴片机的应用中,可以做到精准识别毛刺缺陷。

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定制化服务方案

不仅如此,慕藤光MF超清系列产品兼容性极佳,可适配各类显微镜,还能充分满足各种特殊成像需求。在攻克贴合机Mark点识别以及毛刺缺陷识别等技术难题的项目实践中,慕藤光凭借不断的探索与创新,积累了深厚的技术经验,形成了一系列先进技术方案。

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基于对客户需求的深度理解,慕藤光可依据客户产品的特殊结构,对产品配置进行针对性优化量身定制专属显微成像方案,提供自动跟焦、激光对焦等智能成像光学系统的定制化服务为客户提供专业优势技术领先的光学系统解决方案。

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一直以来,慕藤光始终坚守 “专业、创新、高效、进取” 的企业核心价值观,将客户需求置于首位,凭借深厚的光学研发实力和丰富的技术经验,不断探索钻研,为客户打造多元化、全方位的配套解决方案,持续为光学领域的蓬勃发展贡献标杆力量。