检测掩模版的CD均匀性、套合精度、缺陷大小、洁净度等。
相机：大靶面工业相机传感器：慕藤光660nm线激光对焦传感MALF-7V镜管：大视场镜管MT-M44-S直线物镜切换器：MLC-5H（2XXXX(X）
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